颗粒束质量分析器具有第电子控制器
 
KR1020150104409  2015-7-23  发明申请

2017-2-3
 
  本发明涉及粒子束质谱颗粒在独立充电方式的2号通过施加电场产生的正离子电子带电粒子束的电子正离子流入电流检测与带电粒子射束质量分析器2公共信箱号码和可循环使用。用于该粒子束本发明的质量分析器,真空室,一种聚焦式气体微粒,颗粒的形成粒子束产生的加速度,房屋,加速的带电粒子束的粒子装料侧中的正离子,所述电气带电粒子束的杆和多个粒子束改变,颗粒料侧设置在所述杆和多个粒子束的粒子束的带电离子颗粒产生电子束(2)中的颗粒在独立充电而产生电磁力方向2号数控制装置含有给电子。
 
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