用於质谱分析仪之氮气安全供给监视器及氮气产生装置
 
TW105109993  2016-3-30  发明申请

2017-7-1
 
  用於质谱分析仪之氮气安全供给监视器被设置於压缩空气产生器与氮气分离器之间从氮气分离器所排出之氮气系被供给至质谱分析仪等之分析装置用於质谱分析仪之氮气安全供给监视器包括:气体导入口;气体排出口;配管,系连接该气体导入口与该气体排出口;关闭阀,系设置於该配管的中途;滤水器,系设置於该配管的中途,并过滤在该配管流动之气体的水分;水感测器,系侦测藉该水感测器所过滤的水;以及控制部,系在藉该水感测器侦测到水时关闭该关闭阀亦可该控制部记录关闭该关闭阀之日期时间亦可更包括藉该控制部通知已关闭该关闭阀之通知手段
 
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