| 通过扫描探针显微镜将结构特征映射到样品表面上的方法和装置 |
| WONL20050056 2020-2-3 发明申请 |
| 2020-8-13 |
| 本发明涉及一种使用扫描探针显微镜装置将结构特征映射到样品表面上的方法，该扫描探针显微镜装置包括用于支撑样品的样品支撑结构， 一种扫描头，包括：探针，所述探针包括悬臂和布置在所述悬臂上的探针尖端；以及致动器，所述致动器用于相对于所述样品表面移动所述探针尖端以执行所述映射。 该方法包括：在测量区域中相对于样品表面扫描探针针尖，其中使探针针尖与样品接触； 以及确定以下中的至少一个：探针尖端在垂直于表面的方向上相对于表面的位置，或者探针尖端相对于表面的取向。 在扫描之前，所述方法包括将覆盖材料施加到至少所述测量区域以形成具有平坦表面的覆盖层，以及硬化所述覆盖层。 该文件还涉及扫描探针显微镜装置。 |
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