| 离子注入用组合式静电透镜系统 |
| US14978089 2015-12-22 发明申请 |
| 2016-6-30 |
| 提供了一种用于以低能量将离子注入到工件中的系统和方法。 提供一种配置成产生离子束的离子源，其中质量分辨磁体配置成对离子束进行质量分辨。 离子束可以是带状束或扫描点离子束。 位于质量分辨磁体下游的质量分辨孔从离子束中过滤不需要的物质。 组合静电透镜系统位于质量分析器的下游，其中离子束的路径被偏转，并且污染物通常被滤出离子束，同时使离子束减速和平行。 工件扫描系统进一步定位在组合静电透镜系统的下游，并且被配置为选择性地在一个或多个方向上平移工件通过离子束，从而将离子注入工件中。 |
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