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一种带电粒子束反射器,质谱仪,质谱仪和成像
JP2015234310 2015-11-30 发明申请
2017-6-8
[A]的劣化,空间分辨率的带电粒子光学反射器。[解决方法]一种反射镜(9)的带电粒子束,带电粒子入射电极(91)具有多个孔,每一孔的孔,一种带电粒子射束被反射。至少一个电极的所述多个孔191,91具有多个开口,每个开口与横跨中心轴线的相对布置的电极2(901)901B,B)902和902(901, 902),包括一对相对的电极,至少一对多极电极2。图[图1]
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