用于检测带电粒子检测设备、检测带电粒子的方法和质谱仪
 
US12909507  2010-10-21  发明申请

2011-4-28
 
  本发明的实施例提供了一种用于检测带电粒子的检测装置,其具有用于响应于接收到进入的带电粒子而生成二次带电粒子的二次粒子生成器、用于接收和检测由二次粒子生成器生成的二次带电粒子的带电粒子检测器、用于响应于接收到由二次粒子生成器生成的二次带电粒子而生成光子的光子生成器、以及用于检测由光子生成器生成的光子的光子检测器。
 
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