| 离子照射装置和使用该表面分析器 |
| JP2015230616 2015-11-26 发明申请 |
| 2017-6-1 |
| [问题]通过照射的投影形成的样品中的主离子抑制传播的时间TOF E SIMS，质量分辨率质量提高精度。[解决方案]一次离子的离子束导件部(3)为导引面S的样品，在正交的正交方向上加速的离子加速部件4，5的无场飞行空间中，形成反射场离子反射器(6)，离子光学系统的反射器的收敛时间，达到TOFMS。双级式离子反射镜，磷酸溶液满足内侧，该位置比所述缩二次[[交错交错]，非线性梯度的电位的电位分布，通过叠加校正电位，正交加速的时间发射的离子的能量扩展度从第3到三个或三个以上的档位校正分组，实现较快的收敛时间。因此，一种非常薄的均匀离子的包用光照射样本S，高质谱分析可得到具有良好质量分辨率成像。图[图2] |
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