| 用于半导体制造中污染物识别的质谱系统和方法 |
| US14954053 2015-11-30 发明申请 |
| 2017-6-1 |
| 一种质谱仪系统，包括 : 配置成接收样品的室； 气体源，所述气体源耦合到所述腔室，用于跨所述样品输送气体； 以及解吸能量源，被配置为从样品的测试区域解吸污染物。 所述系统还可包括质谱仪，所述质谱仪包括真空源、离子源、质量分析器和检测器，以及毛细管传送线，所述毛细管传送线可操作地耦合到所述室和所述质谱仪，并且被配置为将污染物的解吸挥发物从所述测试区域传送到所述质谱仪，所述毛细管传送线具有接近所述测试区域的入口。 还公开了一种识别污染物的方法。 |
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