| 一种用于原子力显微镜的探针操作装置 |
| CN201922215433.X 2019-12-12 实用新型 |
| 2020-8-11 |
| 本实用新型涉及一种原子力显微镜的探针操作技术，具体涉及一种用于原子力显微镜的探针操作装置。本实用新型的技术方案如下：一种用于原子力显微镜的探针操作装置，包括探针拾取器、电动位移平台、控制器、操控器和系统基座；电动位移平台固定于系统基座的底部，探针拾取器固定于系统基座的上部并悬置于电动位移平台上方；探针拾取器、电动位移平台及操控器分别通过信号线缆与控制器相连；探针拾取器利用真空吸附原理实现对探针的可靠拾取与释放；电动位移平台用于实现探针在操作空间的四自由度位姿定位；操控器通过控制器控制电动位移平台运动和控制探针拾取器启停。本实用新型能够实现探针从探针盒到探针夹的可靠装配，以及探针从探针夹到探针盒的可靠卸载。 |
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