质谱测定装置
 
US15218732  2016-7-25  发明申请

2017-1-26
 
  连续操作的质谱装置可以配备聚焦电子束源或激光辐射源。 它还可以包括真空室、用于放置样品的台、以及具有等离子体源的离子束柱,用于产生一次离子束和用于二次离子分析的二次离子质谱仪。 离子束柱连接到惰性气体源和反应性气体源,并被改进以同时从惰性气体源和反应性气体源引入至少两种气体。 二次离子质谱仪为正交飞行时间型,保证离子束柱连续工作。
 
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