| 离子光学元件 |
| US14650242 2012-12-6 发明申请 |
| 2015-11-5 |
| 本文公开了离子光学器件及其制造和使用的相关方法，其通常涉及在单个衬底上形成多个电极结构。 所述结构相对于分隔所述结构的多个凹槽的纵横比可以被选择为基本上防止通过所述成品器件的离子接触所述衬底的暴露的电绝缘部分。 衬底材料可以是相对便宜且易于以高精度加工成复杂形状的材料(例如，印刷电路板材料)。 在一些实施例中，公开了分立离子光学元件，其可以由涂覆导电涂层的芯材料形成，该芯材料相对便宜并且易于以高精度加工。 涂层可被配置成在质谱仪中通常经历的真空条件下基本上防止从芯部放气。 |
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