| 用于校准质谱气体流量测量装置 |
| RU2015156993 2015-12-30 发明授权 |
| 2017-4-18 |
| 领域 : 测量设备的方法。用于校准质谱气体流量测量装置包括进气室连接至所述压力传感器，属气体不敏感，气体流量与质谱联用仪和摄像机耦合的复合式全量程气体压力传感器，真空室抽气系统，所述进气室和气体流量记录的线与阀腔连接，所述透气膜安装在所述线端引入进气室，此外，所述进气室和气体流量记录室之间通过线路与两个阀门，校准流动的气体流量的分子之间的方式安装。效果 : 本发明提供了一种校准质谱装置在宽范围的被测气体flows.2Cl，4的双层管 |
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