| 基于质谱反馈的气体浓度准静态调节设备与调节方法 |
| CN201510487199.X 2015-8-11 发明申请 |
| 2015-12-23 |
| 本发明公开了基于质谱反馈的气体浓度准静态调节设备与调节方法。所述设备包括配气仪、与所述配气仪连通的质谱仪、嵌入式控制系统。质谱仪采用所述嵌入式控制系统对所述配气仪内的气体进行质谱测量。所述配气仪包括气缸、配合在气缸内的活塞、驱动活塞移位的电机。活塞与气缸的底部围成主腔体，主腔体与质谱仪连通，主腔体通过阀门一输入待测气体，还通过阀门二输入缓冲气体。所述嵌入式控制系统与电机电性连接，根据质谱仪的质谱测量结果通过电机调节活塞的移位量。本发明还公开基于质谱反馈的气体浓度准静态调节设备的调节方法。 |
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