| 质谱仪系统及用于抽空该系统的方法 |
| CN201410408938.7 2014-8-19 发明授权 |
| 2017-3-29 |
| 一种用于抽空至少5个腔室的真空泵系统，包括一个前级真空泵和一个涡轮分子泵安排，该系统被安排为使得该前级真空泵将该涡轮分子泵安排的输出端泵抽至大气压。该涡轮分子泵安排包括转子叶片分离的至少5个泵抽级腔室；不多于3个泵抽级在真空下具有超过最高泵抽速度的1/3的泵抽速度和/或超过最高泵抽端口截面的1/3的泵抽端口截面；至少2个泵抽级在真空下具有小于最高泵抽速度的1/4的泵抽速度和/或小于最大泵抽端口截面的1/4的泵抽端口截面。在真空下具有最高压力的泵抽级与具有最低压力的泵抽级之间的压力的比率是至少100000 : 1。本发明还涉及一种质谱仪系统和一种用于抽空至少5个腔室的方法。 |
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