| 高通量电子显微镜成像方法及系统 |
| CN202010275733.1 2020-4-9 发明申请 |
| 2020-8-7 |
| 本发明涉及一种高通量电子显微镜成像方法及系统, 将切片放在电子显微镜的载物台上,计算所述切片在所述载物台上的倾斜角度;对所述电子显微镜的物镜进行浸油并依次进行多次扫描,根据自动聚焦算法找到清晰的图像;利用摄像机拍出照片,重复步骤S2直至拍出多张图片,将所述多张照片进行拼接,保存拼接后的图像,完成一个拍片流程;监测所述切片在所述载物台上的下一个区域,根据所述倾斜角度调整高度方向上的位移后,重复步骤S2和步骤S3,进行下一个拍片流程,直至完成所述切片的所有拍片流程。本发明简化了对焦过程,提升了效率。 |