| 扫描电子显微镜 |
| JP2019007746 2019-1-21 发明申请 |
| 2020-8-6 |
| [问题]为了提高表面高度测量系统的测量分辨率，用于校正扫描电子显微镜的物镜单元的电子束焦点位置。 [解决方案]100是扫描电子显微镜，电子束照射系统101和，设置在真空室120内的样品表面高度测量系统124上用于测量样品表面140的高度。 表面高度测量系统140， 142面对样品台台面121a的头部121设置，具有光谱干涉位移计和144， 142和146位于分束器和传感器台表面121a之间，设置在光路中的分束器与反射器分支146148。 表面高度测量系统140，物镜135的焦点位置连接到用于校正电子束的控制单元。 图2[图] |
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