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带电粒子图像测量装置,以及成像质量分析装置
JP2016153915 2016-8-4 发明申请
2017-3-9
高分辨质谱分析带电粒子束图像探测器及其测量[向]质谱成像装置进行成像。[解决方法]一种带电粒子束测量装置201进行成像,所述试料台3,阶段3)对置的带电粒子透镜400,一种二维检测器(5),由带电粒子透镜400,所述试料台3的位置设置在最接近第第二隔膜(7)和样品的交叉1的Co,隔膜第二71528和第二之间安装有膜片二维检测器,被提供。图[图1]
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