产业集群信息网

产业专利数据

质谱仪的等离子体清洗

US14814147 2015-7-30 发明申请

2016-2-4

质谱仪(MS)系统可以通过产生等离子体并使要被清洁的系统的内表面与等离子体接触来清洁。该系统可以在分析模式和清洁模式之间切换。在分析模式中，样品被分析，等离子体可以主动地产生，也可以不主动地产生。在清洁模式下，等离子体被主动产生，并且样品可以被分析，也可以不被分析。