产业集群信息网

产业专利数据

带电粒子束系统和使用扫描电镜测量样品的方法

US16776039 2020-1-29 发明申请

2020-8-6

基于样品的三维形状测量结果，生成表示包括样品的样品单元的三维形状的第一形状数据。生成表示存在于样品室中的结构的三维形状的第二形状数据。基于所述第一形状数据和所述第二形状数据控制所述样本单元的移动，使得所述样本单元与所述结构不发生碰撞。