| 离子光学元件 |
| WOIB12002615 2012-12-6 发明申请 |
| 2013-7-4 |
| 离子光学装置和相关这里公开了制造和使用该相同的方法,其一般包括形成一一单个衬底上的多个电极的结构。所述结构的一个方面比相对于多个凹槽,其分离的结构可以选择以基本上防止离子穿过所述完成从露出的接触装置,所述基板的电绝缘部分。所述基板材料可以被一种材料,其是相对便宜和易于机成复杂的形状与高精度(E。G。,一个印制电路板材料)。在一些实施例中,公开了离散离子光学元件,其可以从一芯材料形成,以其一种电-导电涂层被施加,所述芯材料相对便宜和容易以具有高精度机。该涂层可以被配置到所述真空条件下基本上防止放气从所述芯通常经历在一质谱仪。 |