| ICP质谱仪 |
| JP2014071972 2014-3-31 发明申请 |
| 2015-11-5 |
| 要解决的问题 : 一个驱动机构1在质谱仪真空的情况下而不恶化ICP重量份质量用的维修取样。方法 : 样品离子化等离子体离子源10到采样部20，并被引导到质量分析仪30，质量分析部30和内壳31a通过高真空排气道36b连接，高真空泵36a，采样单元20和低真空排气道的壳体38b连接，通过低真空泵38b和ICP质谱仪1设置，和外壳的采样部20的壳体31A和质谱仪段30被切割在形状板和高真空开闭器61，和采样部20的壳体和低真空排气道中38b关闭板的形状和低真空开闭器62，和高真空开闭器61和低真空开闭器62和连接部分64，连接部分64和移动驱动机构63，和控制部分，其控制驱动机构63。选择的绘图 : 图。14 |
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