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离子检测器
JP2012282857 2012-12-26 发明授权
2017-2-8
离子检测装置(1A)腔室(2)上设有检测正负离子的离子入口3。允许正离子进入,一种转换电子倍增器电极9设置在室(2)和其上施加负电位,和一个雪崩光电二极管(30),其布置在所述室(2)和具有电子入射面(30)相对所述转换电子倍增器电极9也将从转换电子倍增器电极发射的二次电子9入射。电子入射面(30)的位于定位部更靠近所述转换电子倍增器电极9比14,其支撑雪崩光电二极管(30)在所述接地腔室2。
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