| 偏转器的粒子束质谱联用仪 |
| KR1020150104410 2015-7-23 发明申请 |
| 2017-2-3 |
| 本发明涉及一种带电粒子束探测器位于最前侧的正离子变频只构成的网状结构，在反射板上，两个板(2)后形成不均匀电场的金属板材具有网孔结构，产生粒子束质谱突出部的方法。本发明的粒子束的质量分析器及其质量分析器光束偏转器位于所述后端负粒子的粒子带电，而不是槽内的突起，以创建电场来改变固定电荷的粒子，网板中形成的场致发射器件1的数，1号2号板在距离布风板和所述金属膜，1号和2号位对称的板以预定的空气层和包括金属和金属板3板。 |
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