| 扫描透射电子显微镜和像差校正方法 |
| EP20150281 2020-1-3 发明申请 |
| 2020-8-5 |
| 在扫描透射电子显微镜中，控制单元执行：计算作为第一扫描透射电子显微镜图像的自相关函数的第一自相关函数的处理； 沿通过第一自相关函数的中心的直线获取第一强度分布的处理； 获得第一强度分布中最接近第一自相关函数中心的拐点的位置，并将该位置处的强度作为第一参考强度的处理； 通过将第一像差函数拟合到连接强度等于第一自相关函数中的第一参考强度的位置的等强度线，以及通过将第二像差函数拟合到连接强度等于第一参考强度的位置的等强度线，来获得像差系数的处理 在第二自相关函数中等于第二参考强度； 以及基于像差系数控制电子光学系统的处理。 |
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