用于质谱分析的装置
 
CZ19170155  2015-7-24  发明申请

2017-2-1
 
  一种可连续操作的质谱分析装置设置有聚焦电子束源或激光辐射装置源。它还可包括真空室,一个阶段,用于放置样品,和与等离子体源,用于产生离子束柱和二次离子质谱的一次离子束二次离子分析仪。离子束柱上连接有惰性气体源和反应性气体源和修改用于同时引入至少两个从惰性气体源和反应性气体的气体源。所述二次离子质谱仪的正交功能的飞行时间,以保证与离子一种梁柱连续操作。
 
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