| 四极质谱仪 |
| WOJP11000834 2011-2-15 发明申请 |
| 2011-8-25 |
| 本发明公开了一种使用一四极质谱仪分析所述测试件内的气体成分，所述四极质谱仪被配置成使得所述的栅极可以实现激励和加热; 所述灵敏度可以被防止从降低到在一高精度分析所述气体成分; 和一个可实现成本低。一四极质谱仪(MA1)被提供有一传感器部分(M1)，其可以被可拆卸地附着到测试件(TP)。如果该方向使该传感器部分被连接到所述测试件被定义为所述向上方向; 所述传感器部具有一支承(1)，其具有一预定的形状和被提供在所述底部端所述传感器部分; 一种离子源(2)具有一灯丝(22)和一个栅极(21)和电离气体，所述灯丝和所述栅极被提供在所述支撑; 一四极部分(3)设置在所述离子源，其中四个柱状电极(31)是周向设置在预定间隔; 和一个离子检测部分(4)设置在所述四极部分，所述离子检测部分收集预定的离子通过通过该四极部分通过施加直流电压和交流电压到相反电极。 |
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