| 分光镜的质量 |
| WOJP13004919 2013-8-20 发明申请 |
| 2014-7-3 |
| 本发明能够具有良好的精度和测量的总压力进行高精度的质谱分析使用一种简单的结构。本发明的目的是提供一种质量分析装置，所述质量分析装置(1)根据本发明的一个实施例具有 : 一四极(23)用于有选择地允许一被测气体的离子以通过，待测气体成分中，所述待测量部件具有被离子化气体使用一种离子源(21)，和所述气体被测量的具有一预设的质量电荷比，一个离子检测器(25)用于检测该离子电流值基于在所述的离子所述气体被测量，所述被测气体具有通过所述四极(23)，总-压力测量单元(31)用于基于光学的电流值在真空紫外检测光当该待测气体被离子化产生通过所述离子源(21)，和一计算单元(28)。用于计算该部分所述气体被测量的压力，通过使用所述光学电流值和所述离子电流值。 |
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