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真空室和质量分析的电磁铁
JP2015120985 2015-6-16 发明申请
2017-1-5
[问题]为了减少带状射束的非均匀性由于其潜在的光束发散的长度方向。[解决方案]通过真空室的带状离子束的传输路径B和C,在所述真空室通过带状射束的前进方向Z中B和C,Y是带状射束的方向和长度方向B,在两个方向正交的X方向,在真空室Y方向的端部区域C,X方向为随着朝向真空室为真空室的端部内径尺寸C C。图[图2]
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