| 高性能微制造的静电四极透镜 |
| CA2625251 2008-3-7 发明申请 |
| 2009-9-7 |
| 本发明提供了一个圆柱形电极组的对准的方法在一小型四极静电透镜的几何形状; 其可以作为一种质量滤波器在一四极质谱仪。所述电极被安装在对在显微制造的支持，其被形成从绝缘基板上的导电部分。完整的分割所述导电部件之间提供低电容耦合的共平面的圆柱形电极，和允许结合的一种在一给定质量分辨率布鲁贝克前置滤波器，以提高灵敏度。一个完整的四极是从两个这种支承构造，其通过进一步被隔开的导电间隙壁。所述隔离物被继续围绕所述电极以提供一导电屏幕。 |
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