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用以对焦一扫描式电子显微镜之方法、用以对焦一扫描式电子显微镜之电脑程式产品、及测试装置
TW108135874 2019-10-3 发明申请
2020-8-1
一种用以对焦一扫描式电子显微镜()之系统及方法包括利用一第一对焦条件取得一样本的一第一影像;分析第一影像以决定数个对比改变测量值;基于此些对比改变测量值决定一感兴趣区域;至少部分基于感兴趣区域从第一对焦条件调整至一第二对焦条件其中第一对焦条件不同于第二对焦条件;以及利用第二对焦条件取得样本之一第二影像。().....
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