| 所述真空泵和所述质谱仪 |
| JP2015102902 2015-5-20 发明申请 |
| 2016-12-22 |
| 多个真空泵的吸气端口和排气性能[A]。真空泵1[a]，第二涡轮分子泵级(1)上设置第第二吸气口1的上游，第一下游的涡轮分子泵级(1)，第第二吸气口2‘]连通，包括 : (第一)艏艉的螺旋定子60]1，2，一个或多个第二通孔相通的螺旋槽(60)的吸入口，(60)从外周面第二的内周面形成以穿过所述螺杆定子1，通孔通过螺钉贯穿的凹槽，通孔没有螺纹槽(6016060601-601E，601B，601]F[-601]H之间，相邻的螺旋凹槽上设置有连通槽(603)。图[图4] |
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