| 适于飞行时间质谱仪离子源室的抽真空系统 |
| CN201620705119.3 2016-7-6 实用新型 |
| 2016-12-14 |
| 本实用新型公开了一种适于飞行时间质谱仪离子源室的抽真空系统，包括设置有舱门的离子源室；所述离子源室的外壁上设置有用于检测离子源室内腔真空度的高真空计、和用于检测离子源室内位于所述舱门位置处真空度的低真空计、以及分子泵、高真空电磁阀；所述高真空电磁阀进气口与所述分子泵排气口连通，高真空电磁阀排气口通过三通管的第一管口和第二管口与机械泵或隔膜泵进气口连通，所述三通管的第三管口通过管道和预抽真空电磁阀与离子源室内位于所述舱门位置处抽气口连通，所述分子泵进气口与离子源室内腔连通。本实用新型优点在于实现离子源室内腔由低真空度向高真空度过渡的抽真空过程，同时抽真空过程时间短，结构紧凑体积小。 |
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