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高灵敏度无缝离子源质谱仪的微量气体泄漏的检测

EP07750239 2007-2-8 发明授权

2016-12-14

一种质谱仪包括主磁体具有间隔的空间限定了一个间隙，主永磁体磁场的间隙中，离子源，用于产生离子加速的离子注入到所述间隙中的磁场，所述离子源位于缺口外，和选择离子检测器检测由离子源产生的离子种类并由折射装置磁场。离子检测器位于所述间隙在所选种类的离子的天然焦点。质谱仪可用于示踪气体检漏仪。