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透射电子显微镜样品制备所产生的污染的控制方法

CN202010302229.6 2020-4-16 发明申请

2020-7-31

本揭示内容涉及电子显微镜样品的制备，提供了一种透射电子显微镜样品制备所产生的污染的控制方法，包含：在待测元件的预设样品区域上方沉积保护层；切断预设样品区域以得到样品，所述样品具有待测区域；将样品转移且固定到支撑铜片上，其中样品的待测区域的正下方不与支撑铜片接触；以离子束将样品的待测区域减薄；以及对待测区域进行低电压清洁处理。