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产业专利数据

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2 动物模型与化药新药专利
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离子源清洗终点检测

WOUS10039444 2010-6-22 发明申请

2010-12-29

一离子注入机中，一个利用法拉第杯，以接收一个离子源清洗期间产生的离子束。所述检测到的光束具有一个相关联的质谱表示当所述离子源清洗过程被完成。所述质量由一种清洗剂的频谱信号中的结果和所述材料包括该离子源。这个信号将上升时间上作为所述离子源室是被清洗和将电平-关和保持恒定一旦该沉积物从所述源室被蚀刻掉，从而利用现有的注入工具，以确定端点检测在离子源清洗。