| 用于质量光谱仪的自动清洁度的诊断 |
| GB1316688 2013-9-20 发明申请 |
| 2013-11-6 |
| 质谱或离子迁移谱仪，包括第一真空室2，第一真空泵8，进料口6(例如毛细管或孔)之间设有离子源和第一的真空室2，和信号装置，用于指示所述入口孔6被部分遮挡或堵塞时，检测装置判定 : 第一的真空室2内的压力低于阈值。所述检测装置可以是压力计第一的真空室2，或者它可以包括监控减少的气体流动速率第一中抽出真空室2由第一真空泵8，降低功率或电流量由第二真空泵10连接到第二真空室(4)，减少第二的转速真空泵10，或降低温度的第二真空泵10。 |
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