| 用于扫描探针显微镜的热稳定的抗漂移探针及其制造方法 |
| US16634942 2018-8-3 发明申请 |
| 2020-7-30 |
| 一种用于诸如原子力显微镜(AFM)的表面分析仪器的探针组件，所述探针组件适应潜在的热漂移效应，所述探针组件包括限定所述探针组件的基底的基底， 悬臂，其从所述基部延伸并具有远端；以及反射垫，其设置在所述远端处或其附近。 反射垫的横向尺寸(例如，长度)在约25微米之间，并且可以小于1微米。 理想地，使用光刻在悬臂上构图反射垫。 还提供了相应的制造热稳定，耐漂移探针的方法。 |
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