| 真空泵 |
| GB0414316 2004-6-25 发明申请 |
| 2004-7-28 |
| 一个差动泵送的质量光谱仪系统包括一个质量光谱仪具有第一和第二压力室通过它，使用时，离子是沿一路径输送。一种泵组件(10)用于区别地抽空该室(62，66，68)被连接到所述质量光谱仪。所述泵组件(10)包括一壳体(12)连接到所述质量光谱仪和一个盒(14)插入在所述壳体(12)。所述盒(14)具有一个多个的入口(16，18，20)每个用于接收流体从一个各压力室(62，66，68)和一个泵送机构(30，32，34)用于区别地泵送流体从所述腔室，所述盒(14)是插入到所述壳体(12)，使得所述泵送机构(10)是倾斜的相对到所述的离子路径(76); 但与所述盒(14)突出到所述质量光谱仪以这样的一种程度 : 在至少一个的所述入口(16，18)在至少部分地突出到其各自的室(62，68)不交叉的离子路径(75)。 |
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