| 使用角能滤波器的角扫描 |
| US14692395 2015-4-21 发明申请 |
| 2015-11-5 |
| 提供了一种离子注入系统和方法，用于在扫描离子束撞击工件的同时改变扫描离子束相对于工件的入射角。 该系统具有配置成形成离子束的离子源和配置成对离子束进行质量分析的质量分析器。 离子束扫描器配置成在第一方向上扫描离子束，其中限定扫描的离子束。 工件支撑件被配置为在其上支撑工件，并且角度注入设备被配置为改变扫描的离子束相对于工件的入射角。 角度注入装置包括角度能量过滤器和可操作地耦合到工件支撑件的机械装置中的一个或多个，其中控制器控制角度注入装置，从而改变扫描离子束相对于与扫描离子束撞击工件同时的工件的入射角。 |
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