| 用于从来自电子扫描显微镜的图像估计样品的局部形貌的方法和数学模型 |
| EP20153724 2020-1-24 发明申请 |
| 2020-7-29 |
| 本发明的一个方面涉及估计样品的局部形貌的方法(100)，包括：通过扫描电子显微镜获取具有不同入射角的样品的多个图像的步骤(102)。 对于每个图像：计算灰度级分布的步骤(103)。 将多个主要描述符放置在灰度级分布上的步骤(104)。 从主描述符计算辅助描述符的步骤(105)。 使用所述数学模型从所述辅助描述符计算主地形幅度的步骤(106)。 估计局部地形的步骤(107)，包括使用数学模型从主地形量和先前计算的辅助描述符计算辅助地形量。 |
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