| 三维正交扫描式原子力显微镜测头 |
| CN201910440133.3 2019-5-24 发明申请 |
| 2020-7-28 |
| 本发明公开了一种三维正交扫描式原子力显微镜测头, 包括：激光器、第一反射镜组、光电探测器、XY串联式二维平板扫描器、棱镜、非球面透镜、分束器和第一一维扫描器，XY串联式二维平板扫描器包括X轴运动部和Y轴运动部，棱镜固装在Y轴运动部的下端并位于X轴运动部的运动轨迹的延长线上，分束器位于X轴运动部的下方并与X轴运动部固装，在棱镜和分束器之前的X轴运动部的下端安装有一非球面透镜，在分束器的下方固装第一一维扫描器，在第一一维扫描器的底端固装有一探针夹持器，探针夹持器下安装有一悬臂梁探针。XY串联式二维平板扫描器中的运动方向以及第一一维扫描器的运动方向为串联连接，其运动方向严格正交无相互耦合。 |
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