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孔径气体流量限制

WOGB12051254 2012-6-1 发明申请

2012-12-6

一质谱仪是本发明公开了一种包括两个真空室保持在不同压力。所述两个真空室被互连通过一差动泵浦孔(5a)。该有效区域的所述开口(5A)所述两个真空室之间可以通过改变旋转盘(7)具有一个孔(7)中的一个前所述差动泵浦的孔径(5a)，以改变所述气体通过该开口流动速率(5a)和所述两个室之间。