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集成磁控管等离子体炬及相关方法
US14156990 2014-1-16 发明申请
2014-9-18
一种用于产生微波感应等离子体的等离子体源,包括与微波能量源集成的等离子体炬。 该焊枪建立从等离子体源的一侧到另一侧的气体流动路径。 手电筒可与微波能量源集成,使得流过手电筒的等离子体形成气体经受微波辐射,其用于在手电筒中引发和/或维持等离子体。 等离子体可以从火炬中喷出并用于涉及等离子体的使用的各种应用中,包括分析技术,例如光学发射光谱法和质谱法。
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