| 一种深层杂质元素的探测方法 |
| CN201610212541.X 2016-4-7 发明申请 |
| 2016-8-17 |
| 一种深层杂质元素的探测方法，包括：步骤S1：提供具有功能膜层之待探测晶圆；步骤S2：通过二次离子质谱仪表征待探测晶圆之杂质元素的深度；步骤S3：减薄功能膜层，直至杂质元素所在深度与待探测晶圆之表面的距离属于电感耦合等离子质谱仪的可探测深度范围；步骤S4：通过电感耦合等离子质谱仪探测杂质元素的含量。本发明首先通过二次离子质谱仪表征待探测晶圆之杂质元素的深度，然后减薄功能膜层厚度，直至杂质元素所在深度与功能膜层减薄后之待探测晶圆表面的距离属于电感耦合等离子质谱仪的可探测深度范围，最后通过电感耦合等离子质谱仪探测杂质元素的含量，不仅在取样过程中采样锥不会堵塞，而且探测结果准确可靠。 |
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