| 样板具有该移动机构和激光解吸电离质谱仪 |
| JP2016002383U 2016-5-25 实用新型 |
| 2016-8-4 |
| 所要解决的问题 : 在真空室壁的摩擦力极低样品板上可以移动。溶液 : 设置在真空室和样品板40,其外部设置有真空,和方向可移动的XY载物台(31)设置在试样板移动机构(30),在样品板40,永磁体42和第一,44,和第二永磁体(43),在阶段31中,第第一永久磁铁(42),通过该真空室壁44在Z方向和第三永磁体(31)C,31D吸引,电磁铁50和设置,在分析,通过控制电磁铁50,电磁铁50和第二永磁体(43)和通过排斥力真空室壁在预定方向Z-Z repulsiveness。选择附图中 : 图。2 |