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产业专利数据

microengineered多极离子导

GB1005551 2010-4-1 发明申请

2011-10-5

一种microengineered用于微型质量光谱仪中使用的多极离子导系统被描述。安装杆530的示例性方法在四极，六极，octupole和其它多极几何形状被描述。所述杆530形成所述离子导被支撑在刻蚀硅结构540，545中定义的至少第一和第二基板541，它是在运动学连接到一个另一。