质量的装置和方法光谱
 
GB1111569  2011-7-6  发明申请

2011-8-24
 
  一个用于一个质量光谱仪为本发明公开了离子源包括一透镜308和镜303的装置,其聚焦一个激光束302在所述上表面的一目标基板305。该透镜308具有一个有效焦距长度<300~。所述激光束302被引导到所述目标基板305在一角度一与相对以所述垂直于所述目标基板305,其中0<3A°。一个或多个离子导向器311接收离子从所述目标基板和onwardly释放发送所述的离子沿着一离子路径,它基本绕过该镜片308和镜303。
 
仿站