| 方法和装置用于测量样品的有机固体辉光放电质谱 |
| FR14052826 2014-3-31 发明申请 |
| 2015-10-2 |
| 本发明涉及一种系统和方法用于测量辉光放电质谱元素的化学组合物和/或分子有机固体样品(10)。根据本发明 : -设置样品(10)靠近辉光放电等离子体反应器(2)，-注入反应器(2)的气体混合物包括至少一种稀有气体和氧气，气态氧的浓度为0.1%和15%重量%的气体混合物，电压脉冲施加到射频式等离子体反应器的电极(2)产生辉光放电等离子体，并暴露固体样品(10)所述等离子体刻蚀，腐蚀固体样品的喷火口(10)；-选择并测量通过质谱仪(4)的至少一个信号表示带负电的离子物种。 |
微信公众号