| 用于通过质谱进行亚微米元素图像分析的装置和方法 |
| US14673279 2015-3-30 发明申请 |
| 2015-10-8 |
| 提供了一种用于平面样品元素分析的质谱仪系统。 在一些实施例中，所述质谱仪系统包括 : 初级离子源，其能够用直径小于1mm的初级离子束照射平面样品上的片段，c)定位在样品界面下游的正交离子质荷比分析器，所述分析器被配置成通过飞行时间根据次级元素原子离子的质荷比来分离次级元素原子离子； d)离子检测器，用于检测次级元素原子离子并产生质谱测量值；和e)同步器，其中所述系统被配置成使得初级离子束在二维上扫描横跨所述平面样品，并且所述同步器将所述质谱测量值与所述平面样品上的位置相关联。 |
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