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质量光谱仪
WOJP12061711 2012-5-8 发明申请
2013-11-14
凸缘(10a)的一安装板(10)整体与一个离子检测器(5)被固定到一内部表面的一真空室(1)通过缓冲件(12),如O环。一种安装涡轮分子泵是用于机械振动所述真空室(1),然而,该振动被吸收由所述缓冲构件(12),和因此该离子检测器(5)的振动被抑制,作为一个结果,检测信号上叠加噪声,其伴随的振动该离子检测器(5)被衰减,因此,所述检测信号的质量可以使用一低的成本和改进简单的配置。
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